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描述：EUV/XUV波前傳感器又稱(chēng)Hartmann波前傳感器（相干和非相干輻射），緊湊結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)光化性能檢測(cè)，包括EUVL 等離子源、自由電子激光、HHG高次諧波束，實(shí)時(shí)光學(xué)調(diào)整。
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
EUV/XUV波前傳感器
主要特點(diǎn)
EUV/XUV波前傳感器，又稱(chēng)Hartmann波前傳感器（相干和非相干輻射）
緊湊結(jié)構(gòu)
光化性能檢測(cè)
-EUVL 等離子源
-自由電子激光
-HHG高次諧波束
實(shí)時(shí)光學(xué)調(diào)整
單個(gè)脈沖重復(fù)性：λ/116 (wrms)，for EUV (λ =13.5 nm)
技術(shù)規(guī)格
波長(zhǎng)范圍：<1nm~60nm（量子轉(zhuǎn)換涂層）
視場(chǎng)：9mmX6.7mm（可選更大尺寸）
動(dòng)態(tài)范圍：14Bit
Hartmann 盤(pán)：precision pinholes ?75μm, 250μm pitch
傾角：±10°
XY調(diào)節(jié)范圍：±10mm
UHV兼容：CF63法蘭
Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH
(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after
(below) adjustment of beam line optics (B. Fl?ter, K.
Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )
Spot pattern @ λ=1.5 nm
(LCLS / Stanford)
Reconstructed intensity profile
光束測(cè)試軟件
測(cè)試基于ISO標(biāo)準(zhǔn)
Parameter | Standard |
Beam diameter光束直徑 | ISO 11146 |
Divergence | ISO 11146 |
Beam profile光束剖面 | ISO 13694 |
Pointing 指向/ pos. Stability位置穩(wěn)定性 | ISO 11670 |
M2 質(zhì)量因子/ Focusability聚焦性 | ISO 11146 |
Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布 | ISO 15367 |
Coherence 相干 | - |
Around 20 various camera types are supported |
巨力光電（北京）科技有限公司立足于北京市副中心通州區(qū)，專(zhuān)門(mén)經(jīng)銷(xiāo)歐洲、美國(guó)、日本等國(guó)家制造的科學(xué)儀器設(shè)備，為客戶提供完備的售前咨詢(xún)和售后服務(wù)、技術(shù)支持。公司骨干在該行業(yè)有超過(guò)10年的經(jīng)驗(yàn)，專(zhuān)業(yè)的服務(wù)水平、完善的售后服務(wù)體系。
目前主要產(chǎn)品涉及材料科學(xué)、微納米技術(shù)、表面測(cè)量和光電器件、光伏產(chǎn)品、半導(dǎo)體器件的檢測(cè)與研發(fā)等領(lǐng)域。公司本著以科技為導(dǎo)向、以客戶為中心、以服務(wù)為宗旨，竭誠(chéng)為新老客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)！
