KSA BandiT實(shí)時(shí)襯底溫度測(cè)試儀作為半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵測(cè)溫設(shè)備，在襯底生長(zhǎng)、拋光等工藝中需同時(shí)監(jiān)控多個(gè)襯底的溫度動(dòng)態(tài)，其多襯底同步監(jiān)測(cè)通過“分布式傳感陣列+同步信號(hào)傳輸+集中數(shù)據(jù)處理”的三層架構(gòu)實(shí)現(xiàn)，兼顧檢測(cè)精度與實(shí)時(shí)性，為工藝優(yōu)化提供可靠數(shù)據(jù)支撐。
一、分布式傳感陣列：多點(diǎn)并行感知基礎(chǔ)
儀器核心在于針對(duì)多襯底場(chǎng)景設(shè)計(jì)的分布式傳感布局，實(shí)現(xiàn)溫度信號(hào)的并行采集：
定制化傳感單元部署：根據(jù)襯底數(shù)量與擺放間距，在檢測(cè)區(qū)域配置對(duì)應(yīng)數(shù)量的微型溫度傳感單元，傳感單元采用熱電偶或高精度電阻式測(cè)溫原理，結(jié)點(diǎn)尺寸控制在微小范圍以減少對(duì)工藝的干擾，且能適配硅、碳化硅等不同材質(zhì)襯底的熱特性。每個(gè)傳感單元獨(dú)立對(duì)準(zhǔn)單一襯底的關(guān)鍵測(cè)溫點(diǎn)（如中心及邊緣區(qū)域），確保單點(diǎn)溫度數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)捕獲。
抗干擾傳感設(shè)計(jì)：傳感單元集成屏蔽結(jié)構(gòu)，類似DUAL SHIELD技術(shù)的抗干擾邏輯，可抵御工藝環(huán)境中的電磁噪聲與等離子體干擾，在高溫、真空等惡劣條件下保持信號(hào)穩(wěn)定，避免環(huán)境因素導(dǎo)致的多通道數(shù)據(jù)串?dāng)_。
二、同步信號(hào)傳輸：消除時(shí)序偏差
通過硬件與協(xié)議優(yōu)化，確保多個(gè)襯底的溫度信號(hào)同步傳輸至處理單元，避免數(shù)據(jù)延遲差異：
并行信號(hào)通道設(shè)計(jì)：KSA BandiT實(shí)時(shí)襯底溫度測(cè)試儀如何實(shí)現(xiàn)多襯底同步監(jiān)內(nèi)置多組獨(dú)立信號(hào)傳輸通道，每個(gè)傳感單元對(duì)應(yīng)專屬通道，通道間采用同步觸發(fā)機(jī)制，由統(tǒng)一時(shí)鐘源控制信號(hào)采集時(shí)序，確保所有襯底的溫度數(shù)據(jù)在同一時(shí)間節(jié)點(diǎn)被捕獲，時(shí)序偏差控制在微秒級(jí)以內(nèi)。
高效數(shù)據(jù)中轉(zhuǎn)鏈路：采用低延遲傳輸技術(shù)，類似無線測(cè)溫系統(tǒng)的信號(hào)傳輸邏輯，將各通道采集的模擬溫度信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)后，通過高速總線并行上傳，避免串行傳輸導(dǎo)致的隊(duì)列延遲，保障多襯底數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)性。
三、集中數(shù)據(jù)處理：多維度整合分析
通過專用算法與軟件平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)多襯底溫度數(shù)據(jù)的整合、分析與呈現(xiàn)：
同步數(shù)據(jù)校準(zhǔn)與解析：數(shù)據(jù)處理單元接收多通道信號(hào)后，先基于預(yù)設(shè)的校準(zhǔn)參數(shù)（如溫度系數(shù)、線性修正值）對(duì)每個(gè)襯底的原始數(shù)據(jù)進(jìn)行獨(dú)立校準(zhǔn)，消除傳感單元間的系統(tǒng)誤差；再通過同步算法對(duì)齊各襯底的時(shí)間軸，形成統(tǒng)一時(shí)間坐標(biāo)下的多襯底溫度數(shù)據(jù)集。
可視化與預(yù)警呈現(xiàn)：軟件平臺(tái)采用集中式界面設(shè)計(jì)，可同時(shí)顯示所有襯底的實(shí)時(shí)溫度值、溫度變化曲線及溫度分布熱力圖，類似TC Wafer的溫度圖譜呈現(xiàn)方式，直觀展示不同襯底間的溫度差異。當(dāng)任一襯底溫度超出預(yù)設(shè)閾值時(shí)，系統(tǒng)即時(shí)觸發(fā)報(bào)警，且能精準(zhǔn)定位異常襯底編號(hào)。
四、關(guān)鍵技術(shù)保障：精度與穩(wěn)定性控制
時(shí)序同步保障：采用高精度晶振作為時(shí)鐘源，確保多通道采集頻率一致性，采樣率可達(dá)每秒數(shù)萬次，能捕捉襯底溫度的瞬態(tài)波動(dòng)；
數(shù)據(jù)一致性校準(zhǔn)：每次開機(jī)前通過標(biāo)準(zhǔn)溫度源對(duì)所有傳感單元進(jìn)行統(tǒng)一校準(zhǔn)，確保不同通道間的測(cè)量偏差≤±0.5℃；
環(huán)境適應(yīng)性優(yōu)化：傳感單元與傳輸鏈路均采用耐高溫、抗腐蝕材質(zhì)，適配半導(dǎo)體制造中的惡劣工藝環(huán)境，保障長(zhǎng)期監(jiān)測(cè)穩(wěn)定性。
這種多維度協(xié)同的實(shí)現(xiàn)方案，使KSA BandiT實(shí)時(shí)襯底溫度測(cè)試儀如何實(shí)現(xiàn)多襯底同步監(jiān)可同時(shí)穩(wěn)定監(jiān)測(cè)多個(gè)襯底的溫度狀態(tài)，為多工位半導(dǎo)體工藝的溫度均勻性控制與異常排查提供有力支持，助力提升襯底加工良率與器件性能一致性。
